想要光刻14纳米芯片，就要制造13.5纳米波长的极紫外光，这在各种半导体咨询媒体铺天盖地宣传下，早已经人尽皆知。
现在又因为光掩膜版限制，林天只能加大功率，这给测试又增添了不小的难度。
他别说拿去烤了，哪怕是烧，他们也会觉得很合理。
他们都是混体制的，当然明白国家目前的主推方向。
随着这个步骤完成，半导体硅片表面已经清晰可见电路图案，只差最后的冲洗，将未曝光部分黏着的光刻胶全部清洗掉。
ArF光刻胶遇到光源，内部开始发生化学反应。
现在这里陈星算半个门外汉，雷兵、夏扬则是都是门外汉，只能听林天安排。
雷兵和夏扬点了点头。
难不成…
“就如果说光刻工厂证实可以产出芯片，我希望深城电力局多建设抛狗岭地区的电力传输系统，保障电力输送，至于电力的话，奉天军区的宋首长说过，近期会有个东电南调文件下达。”
在半导体领域，可不仅仅光刻机和紫外光有纳米等级，光刻胶同样有纳米等级区分。
本以为陈星什么也不懂，没想到人家出口成章，这让他们都感到了一丝意外。
要是能协助龙兴科技完成光刻工厂的建设，那他们所有人说不定都可以往上走两步。
“我先谢谢两位的好意，不过…”陈星犹豫了一会，还是决定说出宋卫国承诺的“东电南调”计划道：
虽然这个速度相比较于光刻机慢了差不多一倍，可光刻工厂毕竟是国产自研，而且是第一代产物，后续透镜组和移动平台还能继续优化，追赶上光刻机的光刻速度不是不可能的。
刚才半导体硅片清洗拿出时，可以清晰看见硅片表面密密麻麻的电路图案。
自动清洗。
刚说完，他立马看向设备操控台，开始输入指令，时不时还跑到一侧去操作。
这句话说出那刻，雷兵满脑子都是问号。
“我马上操作。”
他看向陈星的目光，已经带了几分敬畏，这个不到三十的青年掌握的能量超乎了他的想象。
第一期相当于测试，等测试通过就可以扩建二期、三期甚至是第四期的光刻工厂。
“我也看见了。”夏扬附和道。
“没错。”
又经过了十分钟的参数调试，排除外故障情况，林天输入了确定工作的指令。
这就是光刻工厂，亦或者说光刻全自动工厂。
夏扬：“！！！”
“趁着天没亮，我们尽快测试光束的可行性吧。”陈星提醒一句。
陈星从震撼中回过神，给雷兵与夏扬讲解道：“具备光源还不够，如果真要造3纳米芯片，我们还要经历芯片设计与研制光刻胶。”
自动取片。
它是专门支撑光刻工厂的？？
雷兵：“？？？”
“为了解决这个问题，我加大了粒子加速器的功率，让电子运动的速度再次增加。”
“我好像看见图案了。”
像似给陈星几人解释，又像似说给自己听。
雷兵也忍不住上前一步，询问道：“这束光能用吗？如果能用是不是意味着我们能造3纳米芯片了？”
“能记下也是个本事。”
他大学虽然学的不是半导体，但这并不代表他不懂芯片制造。
在两人一唱一和拍陈星马屁的同时，全自动化的生产线已经把显影后的半导体硅片送去切片，进行最终电路测试。
12寸半导体硅片，大概能产出232块1.6×1.6的成品裸片，也就是说需要曝光232次。
目前来说，曝光一次的速度大概在1秒，这就需要232秒，也就是差不多4分钟才能把一张半导体硅片全部曝光完成。
雷兵附和一句，继续说道：“别的地方不敢保证，但在深城，夏局还是可以说上两句话的。”
在等待了四分钟后，林天看向陈星等人解释道：“考虑到两块光掩膜版的能量消耗，我们先不急着拿去显影，让半导体硅片再次加热，加剧光刻胶的化学反应。”
运输装置自动取片。
陈星、雷兵、夏扬微微颔首，都在等待着结果。
正因为技术门槛高，大洋彼岸才能用芯片做文章。
陈星：“！！！”
陈星默默举起手机拍摄。
“那就是两块光掩膜版堆叠，两块透明基板会削弱极紫外光能量，导致光刻失败。”
“有电路图案是好事，但还需要经过电路测试才能知道芯片能不能正常运行。”
曝光、蚀刻、显影、清洗他都略懂一二，当然了，只是略懂，还停留在理论知识层面。
一块区域被曝光后，透镜组立马移动，侧开照射光源，待移动平台调整后继续移回正位，对下一个区域进行光刻曝光。
烘干冷却，涂满光刻胶的半导体硅片已经被运往了光刻区域，只剩下最后的光刻步骤。
随着林天输入指令，本该送去显影的半导体硅片被传送去了烘烤区域，进行二次加热，加剧ArF光刻胶内部的化学反应。
雷兵：“！！！”
夏扬终于想通了！
在清洗完成以后，半导体硅片会通过特殊运输通道，运往下一個步骤进行烘烤，待半导体硅片彻底干燥将继续运往下一个步骤，涂抹光刻胶。
听着两人称赞，陈星也几位谦虚道：“不算是见解，只是耳濡目染多了记下的知识点。”
而ArF光刻胶又分正胶和反胶，这次曝光用的是正胶，被曝光区域的光刻胶会发生化学反应，没曝光区域则不受到影响。
夏扬也附和一声。
林天在检验了十几束13.5纳米波长的极紫外光后，也发现了单色性最好的一条光束，将它设定为1号光刻区域。
如果可以的话，他真想在陈星耳畔轻声说一句：“陈总，我夏扬太想进步了。”
“我们没有单独完整的SOC上帝芯片光掩膜版，只能用两块阴阳掩膜版堆叠在一块形成完整图案，这又会出现个问题。”
先用去离子水润湿硅片，紧接着把硅片放在显影平台，上方的机器设备喷出显影液，均匀地撒在半导体硅片表面，进一步溶解被曝光的部分区域。
三人立马侧目，顺着林天目光注视的方向看去，上面赫然写着“电路未检测出异常”八个大字，最左侧的屏幕，还有SOC上帝芯片的全部数据参数，包括纳米等级，微架构与运行功率。
在一一进行比对后，林天神色激动地看向陈星等人宣布道：“成功了！光刻工厂实现了！”
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